產品簡介

TSK621系列中量程流量氣體質量流量控制器/流量計由質量流量傳感器、層流原件、質量流量控制器調節閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導分布效應而制成，其原理是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的信號進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。用以準確可靠的測量和控制氣體質量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準確度不受環境溫度和外界壓力的影響，廣泛的應用于真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學化工實驗設備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領域。

技術特點

1、采用熱式原理、氣體的質量流量不受環境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達300ln/min
5、預熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進行通訊，操作簡單。